Luphos非球面3D干涉仪

luphoscan是基于mwli(多波长干涉)技术的非球面3d干涉测量系统，它能够实现超高精度、

非接触的3d测量，主要用于测量旋转对称表面。

应用

1）研究任何的旋转对称表面

球面，非球面，平面，自由曲面

2）超高测量精度

pv精度50nm

3）快速测量

对于ф=85mm（roc=50mm），测量时间约12min，点密度100/mm2

4）非球面度

无限制

5）灵活性高

测量分段表面，尖顶状表面或者矩形

6）大口径

高达350mm

7)几乎所有材料可测

抛光，粗糙，镜面，透明，不透明

本产品的加工定制是是，类型是激光干涉仪，品牌是德国Luphos，型号是Luphoscan+R，品种是激光干涉仪，测量范围是详见资料，测量分辨率是详见资料，Zui近工作距离是详见资料（mm），用途是详见资料