Luphos非球面3D干涉仪
luphoscan是基于mwli(多波长干涉)技术的非球面3d干涉测量系统,它能够实现超高精度、
非接触的3d测量,主要用于测量旋转对称表面。
应用
1)研究任何的旋转对称表面
球面,非球面,平面,自由曲面
2)超高测量精度
pv精度50nm
3)快速测量
对于ф=85mm(roc=50mm),测量时间约12min,点密度100/mm2
4)非球面度
无限制
5)灵活性高
测量分段表面,尖顶状表面或者矩形
6)大口径
高达350mm
7)几乎所有材料可测
抛光,粗糙,镜面,透明,不透明
本产品的加工定制是是,类型是激光干涉仪,品牌是德国Luphos,型号是Luphoscan+R,品种是激光干涉仪,测量范围是详见资料,测量分辨率是详见资料,Zui近工作距离是详见资料(mm),用途是详见资料
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