应用

测试平面、凹面、凸面、小口径到天文大口径的各种需要；

长光程测量或者远程菲索腔测试；
真空/超低温腔体内器件测试；

测量高速流体、热力学流场；

应力双折射误差的测试；

高精度计量；

可结合esdi自有的拼接软件做子孔径拼接测试；

提供大口径扩束的动态高精度解决方案；

主要特征和优势

完全振动隔离；

菲索共光路干涉技术和远程菲索腔技术；

曝光时间Zui小至10微秒；

0.1%-反射率可测；

测试精度pv值优于λ/100；

1kx1k空间分辨率；优于300的条纹分辨率；

标准的光学接口（通用zygo标准镜）；

auto-sparc技术实现光点自动切换；

全程遥控操作；

本产品的加工定制是是，类型是激光干涉仪，品牌是ESDI，型号是DimetiorVB，品种是激光干涉仪，测量范围是详见资料，测量分辨率是详见资料，Zui近工作距离是详见资料（mm），用途是详见资料